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RMDJL系列单晶炉机组

所属分类:

模块化真空机组产品


  • 产品描述
  • 优势
  • 特点
  • 效益
  • 技术数据

    单晶炉应用概述

    单晶炉是主要用于生产无错位单晶的设备。 设备主要分成两个部分:

    1.在惰性气体填充环境内,多晶硅等多晶材料将通过石墨加热器进行融化。

    2.设备内部安装提拉头,将对融化的多晶材料进行直拉并最终生产出产品。

    单晶炉生产过程需辅助配套真空机组,针对单晶炉生产工艺需求,真空机组需求进行专门配置和定制化设计以完善符合单晶炉应用工艺。

     

    ReM 定制化单晶炉真空机组

    冉昆真空科技提供的单晶炉设备配套真空机组以高效罗茨螺杆真空机组作为主体,机组后端配置消音器可有效降低设备运转过程中的噪音。 机组前端配置过滤器,该装置可以选配。 过滤器的添加将有效降低单晶炉中潜在的粉尘颗粒进泵的几率。 客户可根据工况实际情况进行选配。

     

    主体设备常规配置:

    序号

    泵种

    设备型号

    电机功率,KW

    电机形式

    1

    罗茨真空泵

    ZJ-150D

    4

    水冷封闭电机

    2

    干式螺杆真空泵

    RMD-200D

    7.5

    水冷封闭电机

    如上机组型号: RMDJL150-T

     

    结合单晶炉运行特点,机组配置针对电气控制、保护装置。 机组可有效对运行温度水平进行监控。。当出现高温情况,将分别进行报警和停机 另,机组配置定制化电控箱,可有效进行机组控制等操作。 同时机组真空度、氮气气源皆可通过调节阀、压力表分别进行控制和监控。另,选配方面针对机组前端过滤器,机组可通过进行压差检测,并实时对滤芯堵塞状态进行提示和报警。

     

    RMDJL150-T 型罗茨螺杆真空机组性能参数列表:

    单位

    RMDJL150-T

     

    抽 气 速 率

    L/S
    (50Hz/60Hz)

    175/210

    m3/h
    (50Hz/60Hz)

    630/756

     

    极 限 真 空

    Pa
    (50Hz/60Hz)

    ≤0.2/0.1

    Torr
    (50Hz/60Hz)

    ≤1.5X10-3/≤7.5X10-4

     

    水冷密封电机

    频率

    Hz

    50/60

    电压

    V

    380

    功率

    kW

    3+4.5

     

    转速

    罗茨真空泵 ZJ-150D

    rpm
    (50Hz/60Hz)

     

    2900/3480

    干式螺杆真空泵 RMD-200D

    rpm

    2900

     

    氮气

    压力

    MPa

    0.05-0.1

    流量

    l/min

    6-20

     

     

    冷却水

    压力

    MPa

    0.2-0.4

    压力差

    MPa

    0.1

    温度

    10-30

    流量

    l/min

    3-5

    进气口径

    mm

    DN100

    排气口径

    mm

    DN40

    重 量

    Kq

    600

    噪 音

    dB(A)

    72

    外形尺寸(长×宽×高)

    mm

    1000×660 ×1050

     

    RMDJL150-T 型螺杆真空机组供货范围

    序号

    设备名称

    数量

    单位

    备注

    机械部分

     

    1

    ZJ-150D罗茨真空泵

    1

     

    2

    RMD-200D 螺杆真空泵

    1

     

    3

    减震垫

    4

     

    4

    机组底座

    1

    配置万向轮

    5

    消音器

    1

     

    6

    副水箱

    1

     

    7

    过滤器

    1

    可选配置

    电气阀门部分

    8

    水冷封闭电机

    2

     

    9

    水温检测器

    1

     

    10

    氮气压力表

    1

     

    11

    压力调节阀

    1

     

    12

    电磁压差阀

    1

    可选配置

    13

    电控箱

    1

    可选配置

    管路部分

    14

    电源、气源、水路接口

    1

     

    15

    波纹管(DN40)

    1

     

    16

    波纹管(DN100)

    1

    可选配置

    17

    过滤器电磁压差阀

    1

    可选配置